通用型接地電阻測試儀沈陽儀表科研院三項目通過科技成果鑒定(咨詢電話021-56479693)
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據(jù)悉,近日由沈陽市科技局成果處主持,在沈陽儀表科學院召開了三項科研項目的科技成果鑒定會議。對科技部十一五支撐計劃項目“傳感器測試關(guān)鍵共性技術(shù)研究”、科技部科研院所技術(shù)開發(fā)研究專項資金項目“光密度連續(xù)變化濾光器件”、“SOI壓力傳感器制造工藝研究”進行了科技成果鑒定。專家組認真審閱了資料,聽取了項目組的詳細匯報,考察了研制現(xiàn)場及實物,經(jīng)過質(zhì)詢和評議一致認為:
“傳感器測試關(guān)鍵共性技術(shù)研究”項目突破了高性能傳感器“試驗裝置高效高壓多波形控制”、“批量檢測系統(tǒng)弱信號檢測”、“可靠性強化試驗”等關(guān)鍵技術(shù),在硅電容傳感器批量測試系統(tǒng)的“夾具設計”和“補償方法”、傳感器高效高壓試驗裝置的“復合波形控制”等方面具有**性。成果主要性能指標和關(guān)鍵技術(shù)達到******,對推動行業(yè)技術(shù)進步,增強產(chǎn)品市場競爭力,具有重要的支撐作用。
“光密度連續(xù)變化濾光器件”項目開展了中性漸變薄膜的設計與制造工藝研究,研制出線性度和中性度良好的光密度連續(xù)變化濾光器件,線性度、中性度均達到±5%。解決了光密度線性漸變薄膜設計、中性薄膜鍍制、掩膜機構(gòu)設計及掩膜機構(gòu)運動控制等關(guān)鍵技術(shù)難題,在線性迭代擬合調(diào)速和分段調(diào)速等方面具有**性。研制開發(fā)的濾光器件,*******,并已實現(xiàn)批量生產(chǎn),主要性能指標達到******。
“SOI壓力傳感器制造工藝研究”項目開展了SOI壓力傳感器制造工藝的研究,建起具有自主技術(shù)和知識產(chǎn)權(quán)支撐的高溫SOI壓力傳感器制造技術(shù)平臺,實現(xiàn)耐高溫SOI壓力傳感器批產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性。采用表面摻雜濃度控制方法解決了低漂移技術(shù)難題,使敏感器件的穩(wěn)定性達到0.005%F.S./8h;采用多層薄膜低應力匹配技術(shù),實現(xiàn)敏感芯片重復穩(wěn)定生產(chǎn);采用Cr–Ni–Au復合耐高溫電極制備技術(shù),實現(xiàn)了敏感芯片在300℃下穩(wěn)定工作。項目成果*******,主要性能指標達到******。鑒定委員會一致同意三個項目通過成果鑒定。
專家組對沈陽儀表科學研究院項目組織實施管理給予了較高評價,對項目完成的質(zhì)量給予了充分地肯定,并建議在現(xiàn)有基礎上不斷地發(fā)揮自身優(yōu)勢,進一步推廣應用并擴展應用領(lǐng)域。